WBMW-QXCJ4 microwave chemical vapor deposition furnace

model

WBMW-QXCJ4

Heating material

Non inflammable and explosive material

Microwave frequency

2.45GHZ±50MHz

Heating method

Pure microwave heating, traditional electric heating, mixed heating

Maximum power/KW

4  (Power adjustable)

Temperature measuring element

Microwave field special sensor

Temperature control precision

/℃

±2

Heating pipe material

Quartz tube

High temperature alloy tube

Corundum tube

Heating temperature /℃

1200℃

1200℃

1600℃

pipe diameter

(OD/I D X L )/mm

∅45/∅35×1200,optional ,

Maximum outside diameter∅60mm

Heating rate (maximum)

≤ 200

Heating rate is not limited

≤50

Constant temperature zone length

The length of the standard temperature zone 10mm,Constant 

temperature to the length of 10mm ~ 1000mm above optional

Temperature range 

multi zone heating at the same time 

Gas path flange

Stainless steel flange

Gas path number

2 or 3

Flow range

0-1SLM(Standard L / min, optional)Nitrogen calibration

Accuracy 

±0.2%F.S

Response time 

≤1sec

Working pressure 

Inlet pressure 0.05-0.35Mpa(Table pressure),

Flow specification≤10SLM

Specification 

High vacuum 

System vacuum range

Standard atmospheric pressure~10-3Pa

Furnace chamber size/mm

700X350X530

The heating chamber (standard)

0.5-3L 2 pieces 

Heating cavity size

0.94L,2.12L,3.8L

The heating rate (standard)

0~1000℃/minCan be set according to the actual, can be 

programmed, segmented heating

Dimensions/mm

1500´750´1560

Microwave leakage/  mWcm

≤0.4

Provide related accessories

High temperature gloves×1,Chinese instruction ×1

Warranty 

1 years of free warranty